[1]何常德,张国军,王红亮,等.电容式微机械超声换能器技术概述[J].中国医学物理学杂志,2016,33(12):1249-1252.[doi:10.3969/j.issn.1005-202X.2016.12.015]
　[J].Chinese Journal of Medical Physics,2016,33(12):1249-1252.[doi:10.3969/j.issn.1005-202X.2016.12.015]
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电容式微机械超声换能器技术概述()
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《中国医学物理学杂志》[ISSN:1005-202X/CN:44-1351/R]

卷:
33卷
期数:
2016年12期
页码:
1249-1252
栏目:
专题：国家重点研发计划-数字诊疗装备研发
出版日期:
2016-12-20

文章信息/Info

文章编号:
1005-202X（2016）12-1249-04
作者:
何常德1; 2; 张国军1; 2; 王红亮1; 2; 薛晨阳1; 2; 张文栋1
1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西太原030051；2.中北大学仪器与电子学院，山西太原030051
关键词:
电容式微机械超声换能器; 微电子机械系统; 制造; 超声成像
分类号:
TB552
DOI:
10.3969/j.issn.1005-202X.2016.12.015
文献标志码:
A
摘要:
电容式微机械超声换能器（CMUT）已成为一种重要的新型换能器，在医学成像领域的应用潜力得到了广泛关
注。对CMUT超声换能器技术进行深入研究，对于提高我国超声医疗设备及其关键核心部件的竞争力有着重要意义。
首先介绍了CMUT超声换能器制造工艺技术的发展过程和现状，其次总结了其在各种医学应用中的基本情况，包括器
件的结构、尺寸和性能，最后分析了目前CMUT换能器技术存在的问题，并指出了CMUT换能器技术的未来发展趋势。

备注/Memo

备注/Memo:
【收稿日期】2016-12-09
【基金项目】国家重点研发计划（2016YFC0101900）；国家杰出青年科
学基金（61525107）
【作者简介】何常德，硕士，讲师，研究方向：微电子机械系统、超声成像
系统，E-mail: hechangde@nuc.edu.cn
【通信作者】张国军，博士，副教授，研究方向：MEMS矢量水听器、声
学换能器，E-mail: zhangguojun1977@nuc.edu.cn
更新日期/Last Update: 2016-12-22